动力学振动系统是众多惯性加速度传感器中的重要组成部分，其参数的选取决定了加速度传感器的性能的优劣。针对基于菲涅耳衍射微透镜的新型光学加速度传感器设计了一种简单实用的敏感加速度的振动系统，它是由一个微弹性机械结构连接在外框架上构成。微弹性机械结构不仅是微型加速度传感器重要组成部分，而且，在微型驱动器、微位移计、微陀螺仪及其他惯性加速度传感器中也有着重要的应用，在微机电系统(MEMS)中发挥着重要的作用。目前，MEMS中类似于微弹性机械结构的敏感装置主要有硅悬臂梁、直角弹性结构及结构更复杂的硅弹簧等。微弹性机械结构是在一块硅片上通过简单的MEMS工艺加工的，可以通过改变硅片的厚度和弹性臂的宽度来设计不同的弹性系数和振动系统的固有频率，以满足加速度传感器的要求。具体讨论了微弹性机械结构参数的选取，并且，模拟分析了加速度传感器的性能和误差。

加速度传感器的传感器模块与组合无线标签（RFID标签）。无线标签使用13.56MHz频带，依据的是ISO/IEC 15693。加速度传感器特点是，通过与使用电磁感应方式进行通信的无线标签结合，在构成传感器网络时可以不使用电池。加速度传感器模块由欧姆龙与日本立命馆大学联合开发。“如果内置于建筑物等，便可提高安全性，在遇到灾害时检测出危险。此前多数加速度传感器网络均以配备电池为前提。省去电池后，用途会更加广泛”。 
    加速度传感器模块由无线标签用的RF电路和控制电路、起电电路、3轴加速度传感器，以及传感器用的放大器和开关组成。2006年度还计划将RF电路、控制电路及起电路集成在一枚芯片中、将3轴加加速度传感器、放大器及开关集成在一枚芯片中，通过这些手段来开发封装面积为2.5mm见方的加速度传感器模块。